在光學玻璃的背面，通過真空鍍膜鍍一層金屬銀(或鋁)薄膜，使入射光反射的光學元件。采用高反射比的反射鏡可使激光器的輸出功率成倍提高;且是第一反射面反射，反射圖像不失真、無重影。

一、光學元件(反射鏡)有兩道工藝流程：

1、鏡片原材——清洗——真空鍍膜——清洗——覆膜。

2、切割——倒邊——清洗。

二、鍍膜前處理超聲波清洗機介紹

清洗原理：

超聲波發生器也稱作超聲電源 ， 它是一種用以產生超聲頻電能并向超聲換 能器提供的裝置 ， 發生器產生電能提供給換能器 ， 換能器將超聲頻電能轉換成機械振動并通過清洗液輻射超聲波 ， 存在于液體中的微氣泡在聲波作用下振動 ， 當聲壓或聲強達到一定 值時 ， 氣泡迅速增長 ， 然后突然閉合 ， 在氣泡閉合時產生沖擊 波 ， 這就所謂的超聲空化物理現象 ， 空化所產生巨大壓力一方面破壞污物與基板表面吸附 ，另一方面增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現其高清潔度的目的。在超聲波作用下光學元件清洗只需兩 、 三分鐘即可完 成 ， 其速度比傳統方法可提高幾倍到幾十倍 ， 清潔度也達到高標準 。

三、鍍膜前處理超聲波清洗工藝介紹

RO水漂洗槽：

每槽設四面溢流口，溢水槽寬35mm，各槽皆為獨立循環槽，由循環泵將洗劑從儲液箱抽出經過濾后再運回清洗槽，即字母槽循環。

設置獨立循環過濾系統。

各槽底部設排液閥且互相串聯至總排管。

槽內設溫度感應器，溫控范圍：RT-100℃。

槽外設置拋動。

IPA超聲槽：

清洗槽設有四周鋸齒形溢流口,打磨倒角毛刺,可迅速均勻將清洗劑表面漂浮物排除,同時溢流液體進入儲液槽,經循環過濾后循環使用。槽底設排液閥，可通過手動球閥將液體排入前一槽儲液箱或直接經IPA專用管道排出。

蒸汽浴洗慢拉干燥槽：

蒸汽浴洗的加熱方式采用高溫油外包間接加熱，由于高溫油加熱溫度高，且對IPA加熱密度均勻，因此可以獲得均勻、足夠的蒸汽密度，獲得良好的蒸浴效果和干燥效果。又因是外包間接加熱，安全性高。

為減少揮發，降低使用成本，防止異味溢出，又可獲得良好的冷卻干燥效果，因此，在上部設足夠冷卻區間，由10HP冷水機提供冷水源，同時提供各槽儲液箱內冷排管的冷卻。

IPA由于易溶于水，一定時間后濃度會降低，為保證蒸浴和干燥效果，需要定時更換IPA溶液。更換時可以通過球閥控制，排放到廢液箱。

拉提升機構原理：

高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工藝和配置外，更需要良好的脫水效果。工件表面如果有任何垢點或積水點，最后都將導致鍍膜失敗。IPA有較高的沸點，又能較好的溶于水，經過前面IPA的有效脫水和該槽的蒸汽浴洗，工件表面已存IPA，經過高溫后有效的散失，即可實現表面高清潔度和干燥之目的。

拋動機構原理：

清洗過程中工件作均勻地拋動，可以增加工件與液體的磨擦，有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。